Salle blanche de microfabrication offrant des services et l’accès à des instruments pour diverses applications, notamment en sciences biomédicales, en technologies spatiales, en systèmes microélectromécaniques et en électronique.
L’installation de microfabrication de l’Université York offre l’accès à des solutions de pointe en micro et nanotechnologie dans le nord de la région du Grand Toronto et les environs. Elle se spécialise dans les processus de microfabrication, dont la lithographie, le dépôt de couches minces, la gravure et la caractérisation. Elle se distingue par son équipement de pointe et son personnel expérimenté. L’aligneur de masque semi-automatique à LED-UV est unique en son genre et s’adapte tant au prototypage de recherche qu’à la fabrication en petite série. L’imprimante de masques de photolithographie (transparents) est unique dans le milieu universitaire, car elle permet une impression de haute qualité et à faible coût. Les systèmes de dépôt physique en phase vapeur (évaporateur eBeam et système de pulvérisation) et de dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma sont des instruments dotés des technologies les plus avancées et les plus récentes. L’équipe, composée de titulaires de doctorats possédant de l’expérience dans le secteur industriel, peut apporter son soutien à chaque étape du processus de microfabrication.
- Impression de masques photolithographiques (transparents)
- Dépôt de couches minces d’une vaste sélection de métaux (Au, Ag, Al, Cr, Ni, Cu, Ti, etc.) et d’autres matériaux, notamment des conducteurs, des semi-conducteurs et des diélectriques (SiOx, SixNy, TiO2, ITO, etc.)
- Prototypage de polydiméthylsiloxane et fabrication de moules maîtres SU8, par exemple pour la microfluidique
- Caractérisation de surface avec profilomètre à contact
- Accès au laboratoire et à l’équipement avec des frais d’utilisation pour la fabrication sur mesure
- Aérospatial et satellites
- Technologies propres
- Technologies de l’information et des communications, et médias
- Sciences de la vie, produits pharmaceutiques et équipement médical
- Fabrication et transformation
Laboratoires et équipements spécialisés
| Laboratoire spécialisé | Équipement | Fonction |
|---|---|---|
| Laboratoire de dépôt de couches minces | Système de gravure ionique réactive par plasma à couplage inductif Minilock Duo III de Trion Technology et de dépôt chimique en phase vapeur activé par plasma | Dépôt et gravure à sec de Si, SiOx and SixNy. Comprend un sas de chargement avec un bras robotisé permettant un transfert fluide entre la chambre de dépôt et la chambre de gravure. |
| Évaporateur Nexdep eBeam de Angstrom Engineering | Peut accueillir jusqu’à 6 sources pour un dépôt multimatériaux uniforme. Permet le dépôt simultané de jusqu’à trois tranches de silicium de 4 po (10 cm) avec un dôme. Comprend un porte-échantillon à angle variable pour le dépôt par ombrage. | |
| Système de dépôt par pulvérisation cathodique EvoVac de Angstrom Engineering | Comprend une plaque de base de 500 mm x 500 mm avec 3 sources de pulvérisation à courant continu (CC) et 3 sources de pulvérisation à radiofréquence (RF) pour le dépôt de matériaux multiples, ainsi qu’une source de pulvérisation RF sur la plaque arrière pour le nettoyage des substrats. Le système permet aussi une pulvérisation réactive pour un processus de dépôt plus efficace des matériaux oxydes. | |
| Microscope numérique modèle VHX-970F de Keyence | Offre un grossissement de 20 à 2000 fois, un éclairage en champ clair/champ sombre/polarisé/mixte et une platine motorisée d’axe Z pour la mise au point automatique et le profilage 3D. | |
| Laboratoire de photolithographie | Aligneur de masque amélioré, modèle 800E d’OAI | Peut accueillir des substrats allant jusqu’à 8 po (20 cm) de diamètre. Caractéristiques : lampe LED-UV à longueur d’onde i-line et g-line; alignement recto et verso; compensation automatique de l’effet de coin; alignement automatique utilisant la dernière technologie de reconnaissance des formes de Cognex. |
| Tournette de dépôt, modèle 650-8N de Laurell | Peut accueillir des tranches allant jusqu’à 8 po (20 cm) de diamètre et dispose d’un outil d’alignement pour faciliter le montage des plaquettes. | |
| Système de table de plasma basse pressionPE-50 XL de Plasma Etch | Calcinateur au plasma pouvant accepter le plasma avec oxygène, muni d’un système automatisé pour la modification des surfaces et le nettoyage au plasma. | |
| Profilomètre à stylet Alpha-Step D-600 de KLA | Profilomètre à contact muni d’une platine motorisée de 8 po (20 cm), permettant le tramage automatique pour topographier les surfaces d’une hauteur de 10 nm à 1,2 mm. | |
| Banc de traitement par voie humide, modèle TXH-6 de DFMZ | Équipé d’eau désionisée et d’azote comprimé. L’environnement interne est conforme à la norme de la classe 100. |
Partenaires de recherche des secteurs privé et public
- ventureLAB
- CMC Microsystèmes
Information additionnelle
| Titre | Hyperlien |
|---|---|
| L’installation de microfabrication de l’Université York en 30 secondes. | https://www.youtube.com/watch?v=x_6-WsHgspA&list=TLGGftDJykqYNoUxODA0MjAyNA |
| Explorez l’installation de microfabrication de l’École d’ingénierie Lassonde de l’Université York. | https://www.youtube.com/watch?v=YS7r6gB7h5Y |