Centre canadien de fabrication de dispositifs photoniques

Conseil national de recherches Canada, Ottawa, Ontario
Que fait l'installation

Offre un guichet unique de services d'ingénierie et de fabrication de tout premier ordre, des services de prototypage de classe commerciale et des installations pour les essais de production

Domaines d'expertise

Le Centre canadien de fabrication de dispositifs photoniques fabrique des dispositifs dans une variété de matériaux comme l'arséniure de gallium (GaAs), le phosphure d'indium (InP), le nitrure au gallium (GaN), le silicium sur isolant (SOI). Le Centre propose également des services pas-à-pas de fonderie et de fabrication de bout en bout pour les dispositifs photoniques, les circuits photoniques intégrés et l'électronique au nitrure de gallium. Il permet également la mise au point de nouvelles technologies de procédés de fabrication pour les dispositifs de ses clients.

À partir de plaquettes fournies par le Centre ou le client, notre équipe de concepteurs expérimentés examine les besoins des clients et leur propose une structure de plaquette et un procédé de fabrication appropriés pour créer des dispositifs ayant le rendement nécessaire pour leur application. Nous pouvons nous servir de masques photographiques fournis par les clients ou développer une série de masques pour toutes les étapes de fabrication. On emploie un système d'exécution de fabrication spécialisé pour recueillir les données et contrôler les matériaux pendant la fabrication. Cela permet de s'assurer que toutes les plaquettes fabriquées sont entièrement caractérisées et qu'elles répondent aux spécifications nécessaires.

Nous offrons une installation de 3 716 mètres carrés (40 000 pieds carrés) entièrement équipée avec 1 022 mètres carrés (11 000 pieds carrés) d’espace de salle blanche de classe 1000/100 dotée d’un ensemble complet de procédés clés et d’activités auxiliaires de soutien.

Services de recherche

Nous offrons les services techniques suivants :

  • Services de fonderie, dont : dépôt chimique en phase vapeur (CVD), dépôt physique en phase vapeur (PVD), lithographie, gravure par plasma et transformation en fin de procédé
  • Conception et modélisation de dispositifs et de circuits en vue d'en améliorer la performance et la conception globale, et d'accroître l'efficacité des circuits
  • Essais et caractérisation, dont essai de dispositifs optiques et électroniques et analyse des surfaces et des matériaux

Nous offrons des services externes d'experts-conseils d'évaluation ou d’analyse de plaquettes fabriquées aux entreprises produisant des plaquettes à l’interne ou qui les font fabriquer par une autre entreprise.

Secteurs d'application
  • Technologies de l’information et des communications, et médias
  • Fabrication et transformation

Équipment

Fonction

Gravure directe par faisceaux d’électrons

Formation de motifs sur tranche

Holographie

Formation de motifs sur tranche

Gravure par plasma à couplage inductif (ICP)

Gravure entièrement automatisée de matériaux semi-conducteurs et diélectriques

Gravure ionique réactive (RIE) — gravure par plasma

Gravure entièrement automatisée de matériaux diélectriques

Évaporation par faisceaux d’électrons

Dépôt métallique complet pour répondre aux besoins en ohmiques et en procédés de métallisation et d’interconnexion

Logiciels de modélisation photonique et matériels d’essai

Modélisation, essai et caractérisation de dispositifs photoniques et capacité de fiabilité

Réacteur de dépôt chimique en phase vapeur par composés organométalliques (MOCVD)

Croissance épitaxique de base et de zone sélective (SAG), de surcroissance (OG)

Réacteur d’épitaxie par faisceaux moléculaires (MBE)

Croissance épitaxique de matériaux d’antimoniure de gallium (GaSb)

Réacteur d’épitaxie par faisceaux chimiques (CBE)

Croissance de matériaux pour points quantiques

Titre

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Points saillants du Centre canadien de fabrication de dispositifs photoniques

https://nrc.canada.ca/fr/recherche-developpement/recherche-collaboration/points-saillants-centre-ca…

Un brillant avenir pour les nouveaux dispositifs à fibres optiques

https://nrc.canada.ca/fr/histoires/brillant-avenir-nouveaux-dispositifs-fibres-optiques